Gamme SUBTRONIC

Les épurateurs de gaz SUBTRONIC

 

La gamme SUBTRONIC a été développée pour répondre aux exigences de l’industrie des semi-conducteurs et des laboratoires de recherche.

L’évolution permanente de ces secteurs à la pointe de la technologie, conduit à une constante amélioration des épurateurs SUBTRONIC.

Les épurateurs de la gamme SUBTRONIC permettent d’obtenir des gaz tellement purs que les impuretés restantes ne sont pour la plupart du temps plus détectables par les analyseurs de gaz. Le niveau d’impuretés obtenu est de l’ordre du ppb (une partie par billion).

Gamme SUBTRONICGamme SUBTRONICGamme SUBTRONIC
Epurateur type N 15-15/SAC 30-230
Épurateur type SAC 5-220
Épurateur type N (Air Liquide)

Ces épurateurs sont construits suivants les derniers standards européens en vigueur (DESP CE97/23, ATEX…), et peuvent être adaptés sur demande spéciale du client au code ASME.

Les épurateurs sont entièrement gérés par un automate HMI avec écran tactile en façade permettant aux superviseurs de vérifier d’un simple regard le bon fonctionnement de l’épurateur.

La maintenance de ces épurateurs est moindre puisqu’elle ne nécessite qu’une seule intervention par an.

 
Type Gaz traité Impurités éliminées
C Gaz inertes (N2, He, Ar, Kr, Xe, Ne) O2, H2O, H2
D Hydrogène O2, CO, CO2, H2O
EF Hydrogène, Hélium N2, Ar, O2, CO, CO2, H2O, CH4
M Hydrogène, Hélium N2, Ar, O2, CO, CO2, H2O, CH4
N Gaz inertes (N2, He, Ar, Kr, Xe, Ne) O2, CO, CO2, H2O
SAC Air, Hélium, gaz intertes Eau